Miki Mario

Procesamiento De Peliculas Ferroelectricas Pt Y Pzt Mediante Cvd-aa Miki Mario

Publisher Marketing: Este trabajo contiene la sintesis, caracterizacion estructural, ferroelectrica, piezoelectrica y nanomecanica de peliculas delgadas de perovkitas de los compuestos de PbTiO3 y Pb(Zr0.52Ti0.48) O3 por el metodo de depositacion quimica de vapor asistido por aerosol (CVD-AA), debido a que este metodo presenta las siguientes ventajas: 1) facilidad de agregar dopantes en cualquier proporcion a la pelicula tan solo con el hecho de introducirlos a la solucion precursora, 2) el metodo no requiere de partes costosas como bombas de alto vacio u otros dispositivos, representando una gran ventaja en instalaciones a nivel industrial. Dentro de los usos mas importantes en la industria microelectronica se pueden mencionar los siguientes: sensores, capacitores, memorias de almacenamiento de informacion en computadoras, sensores piezoelectricos para almacenamiento de energia. Desde luego que el libro contiene los metodos de caracterizacion estructural mediante difraccion de rayos-X en una y dos dimensiones, y mediante difraccion de electrones en MET, tambien contiene curvas de Histeresis, importantes en la caracterizacion ferroelectrica y piezoelectrica, asi como pruebas de nano-indentacion"